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潔凈室的八種排風(fēng)系統介紹
來(lái)源：www.etvfc.com 發(fā)布時(shí)間：2021/11/19 11:27:27
在微電子用潔凈室、藥品生產(chǎn)用潔凈室中，常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用或產(chǎn)生，各種酸性和堿性物質(zhì)、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過(guò)程還會(huì )有相應的有害物質(zhì)排出或泄漏入潔凈室內，為此對于上述產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室內可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設備或工序設置局部排風(fēng)裝置或全室排風(fēng)裝置，按生產(chǎn)工藝過(guò)程排出的廢氣的類(lèi)型可將排風(fēng)裝置（系統）大體劃分為下列幾種類(lèi)型。
1）一般排風(fēng)系統
這是指在生產(chǎn)輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。
2）有機氣體排風(fēng)系統
在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類(lèi)有機物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí)，都將會(huì )在相關(guān)的場(chǎng)所或設備處散發(fā)有機物質(zhì)、溶劑的氣體，對這類(lèi)場(chǎng)所或設備均應設置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機排風(fēng)系統中的有機氣體濃度是很低的，若能達到標準規定的大氣排放標準時(shí)可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；當排風(fēng)系統中有機氣體濃度超過(guò)規定時(shí)，應設有機氣體處理裝置，經(jīng)過(guò)處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質(zhì)的苯類(lèi)、汽油類(lèi)有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡(jiǎn)單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類(lèi)、醇類(lèi)、脂類(lèi)、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風(fēng)系統所含有機物質(zhì)的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
3）酸性氣體排風(fēng)系統
在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗室內均有酸性氣體排出，在這類(lèi)酸性氣體的排風(fēng)系統通常設置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實(shí)際設計時(shí)應根據酸性氣體的類(lèi)型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式[20]。
4）堿性氣體排風(fēng)系統
對生產(chǎn)過(guò)程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。
6）含粉塵的排風(fēng)系統
鑒于產(chǎn)品品種不同、生產(chǎn)工藝過(guò)程不同，排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用各類(lèi)除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過(guò)濾元件的過(guò)濾裝置[21]，圖5-57是一種帶過(guò)濾元件的過(guò)濾除塵器。
此類(lèi)裝置都可以采取取拍打反吹或更換過(guò)濾器元件的方式，使除塵裝置可較長(cháng)期的使用。對于某些含塵濃度很高的排風(fēng)系統根據工程具體情況有時(shí)尚需設置二級除塵裝置將大部分粉塵去除后再送入前述的布袋或過(guò)濾除塵裝置，這樣做才能滿(mǎn)足大氣排放標準的要求，從而穩定、經(jīng)濟地運行。
7）特殊氣體排氣系統
在半導體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，對于這類(lèi)排氣系統首先應按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統，必須防止在排氣系統中產(chǎn)生化學(xué)反應；其次應選用專(zhuān)用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理設備由稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再者是排氣系統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應的額的材質(zhì)，并不得與排放的特氣發(fā)生反應。
8）藥品生產(chǎn)中有害、有毒的排風(fēng)系統
在生產(chǎn)或分裝青霉素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、二類(lèi)危險度以上病原體操作區的排風(fēng)口，應安裝高效過(guò)濾器，使這些藥物引起的污染危險降低至低限度。并且此類(lèi)排風(fēng)系統的排入大氣的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調系統的新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應相隔一定距離。
1）一般排風(fēng)系統
這是指在生產(chǎn)輔助用室、生活用室，如值班室、衛生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。
2）有機氣體排風(fēng)系統
在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類(lèi)有機物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí)，都將會(huì )在相關(guān)的場(chǎng)所或設備處散發(fā)有機物質(zhì)、溶劑的氣體，對這類(lèi)場(chǎng)所或設備均應設置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機排風(fēng)系統中的有機氣體濃度是很低的，若能達到標準規定的大氣排放標準時(shí)可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；當排風(fēng)系統中有機氣體濃度超過(guò)規定時(shí)，應設有機氣體處理裝置，經(jīng)過(guò)處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質(zhì)的苯類(lèi)、汽油類(lèi)有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡(jiǎn)單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類(lèi)、醇類(lèi)、脂類(lèi)、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風(fēng)系統所含有機物質(zhì)的品種、濃度情況選用相應的處理設備。
3）酸性氣體排風(fēng)系統
在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗室內均有酸性氣體排出，在這類(lèi)酸性氣體的排風(fēng)系統通常設置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實(shí)際設計時(shí)應根據酸性氣體的類(lèi)型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式[20]。
4）堿性氣體排風(fēng)系統
在排風(fēng)系統氣體中含有堿性物質(zhì)或在排氣中混入堿性化學(xué)試劑，與酸性氣體排風(fēng)系統類(lèi)似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來(lái)，由于大氣排放標準越來(lái)越嚴格，需對含有堿性物質(zhì)（或酸性物質(zhì)）濃度較低的排氣也應進(jìn)行凈化處理才能達到排放標準，為此可采用專(zhuān)用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進(jìn)行處理達標后才能排入大氣，此種吸附劑一般為一次性的，使用后應進(jìn)行集中處理，通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場(chǎng)集中處理。
對生產(chǎn)過(guò)程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。
6）含粉塵的排風(fēng)系統
鑒于產(chǎn)品品種不同、生產(chǎn)工藝過(guò)程不同，排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用各類(lèi)除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過(guò)濾元件的過(guò)濾裝置[21]，圖5-57是一種帶過(guò)濾元件的過(guò)濾除塵器。
此類(lèi)裝置都可以采取取拍打反吹或更換過(guò)濾器元件的方式，使除塵裝置可較長(cháng)期的使用。對于某些含塵濃度很高的排風(fēng)系統根據工程具體情況有時(shí)尚需設置二級除塵裝置將大部分粉塵去除后再送入前述的布袋或過(guò)濾除塵裝置，這樣做才能滿(mǎn)足大氣排放標準的要求，從而穩定、經(jīng)濟地運行。
7）特殊氣體排氣系統
在半導體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，對于這類(lèi)排氣系統首先應按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統，必須防止在排氣系統中產(chǎn)生化學(xué)反應；其次應選用專(zhuān)用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理設備由稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再者是排氣系統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應的額的材質(zhì)，并不得與排放的特氣發(fā)生反應。
8）藥品生產(chǎn)中有害、有毒的排風(fēng)系統
在生產(chǎn)或分裝青霉素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、二類(lèi)危險度以上病原體操作區的排風(fēng)口，應安裝高效過(guò)濾器，使這些藥物引起的污染危險降低至低限度。并且此類(lèi)排風(fēng)系統的排入大氣的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調系統的新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應相隔一定距離。
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