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電子無(wú)塵車(chē)間
潔凈車(chē)間，亦稱(chēng)潔凈室、無(wú)塵車(chē)間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。
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